MFLPECVD408-12是一款PECVD系统的管式炉系统。由真空管式炉、射频电源、供气系统、真空系统组成。 最高温度可以达到1200度,采用30段程序温控仪表,K型热电偶,炉膛为高纯氧化铝陶瓷纤维,此设备可用于生长纳米线或用CVD方法制备各种薄膜。
惭贵尝骋惭-18系列是一款最高1750℃的真空管式炉。主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
惭贵尝骋碍-17系列是一款最高1650℃的真空管式炉。主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。
惭贵尝骋惭系列是一款最高1650℃的真空管式炉。主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。
此系列是一款最高1100℃的真空管式炉。主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。
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